單晶石墨熱場的性能優(yōu)勢

單晶石墨熱場的功用優(yōu)勢
    耐高溫功用：石墨熔點達3650℃，可在真空或惰性氣體環(huán)境中長期安穩(wěn)作業(yè)。
    導電與機械強度：抗壓強度≥80MPa，兼具導電性與結(jié)構(gòu)安穩(wěn)性，適配大標準單晶爐（如36英寸以上硅棒出產(chǎn)）。
    化學惰性：耐酸堿腐蝕，避免與熔融硅反響生成碳化硅雜質(zhì)，保證單晶硅純度。
    本錢效益：等靜壓石墨代替?zhèn)鹘y(tǒng)鎢鉬加熱器后，能耗下降30%，同時延長熱場使用壽命，下降綜合出產(chǎn)本錢。

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